我校机器人研究所MEMS研究获得新成果

哈工大报讯(荣文)由我校机器人研究所孙立宁教授主持完成的“面向MEMS组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目于日前通过了技术鉴定,鉴定委员会由7名国内知名MEMS专家组成,王立鼎院士担任鉴定委员会主任.该项成果针对MEMS小批量、多品种的特点,采用光、机、电及工艺系统集成技术,研制出具有自主知识产权的MEMS批量组装设备、MEMS自动引线键合设备和硅片键合强度测试设备. MEMS批量组装设备针对典型MEMS器件批量组装,研制出具有精密定位和微力传感功能的模块化微操作手、系列化真空吸附式作业工具和多工位键合炉,采用多操作手协调和显微视觉/微力混合控制策略,实现了高温压力传感器和MEMS气体传感器微小组件批量装配.MEMS自动引线键合设备针对MEMS引线封装的柔性自动作业要求,采用“全局粗定位、局部精定位”的思想,研制出自动连续变倍和调焦的显微视觉系统,实现了大范围高精度封装目标识别与精确定位,实现了不同MEMS器件的自动化引线键合.硅片键合强度测试设备针对2~4?硅-硅键合强度测试要求,采用显微图像处理技术和红外图像处理技术,解决了硅片与刀具的高精度对准和裂纹长度精确测量问题,实现了硅片键合强度定量测试.鉴定委员会认为:该项研究成果在系统集成、显微视觉、微作业工具、微操作作业策略等关键技术方面达到国际先进水平;填补了国内外MEMS领域相关设备空白,体现了自主创新.课题申请国家发明专利6项,发表论文30篇,研究成果在多家MEMS研发和生产单位示范应用,社会与经济效益显著,应用前景广阔. 鉴定会场 现场检查 编辑:系统管理员
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